704 ガス流体力を利用した AFM 微小片持はりの負荷試験

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2002-09-06

著者

• 村岡 幹夫

  秋田大学工学資源学部機械工学科

• 村岡 幹夫

  秋田大学工学資源学部

• 大久保 弘和

  秋田大院

• 村岡 幹夫

  秋田大学

• 村岡 幹夫

  秋田大

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