G0400-2-6 集中質量型カンチレバーのナノ接触共振による水晶ウエハの加工変質層の評価([G0400-2]機械材料・材料加工部門一般(2):非金属材料の力学)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This study demonstrates measurement of surface damaged layer of quartz wafer on each surface finish process, lapping, etching, and polishing by means of atomic force acoustic microscopy with a concentrated-mass (CM) cantilever. CM antilevers enhance the sensitivity of the contact resonance of a cantilever to a sample elasticity and make ease in evaluating Young's modulus. A relationship between the contact resonant frequency and the effective Young's modulus of sample was determined from measurements of reference surfaces, Si (111) and sapphire (0001). The measurement of contact resonant frequency for surface of quartz wafer revealed that surface damaged layer causes a degradation of surface elasticity.
- 2010-09-04
著者
関連論文
- 二酸化チタン含有ポリカーボネート基板へのイオンビーム照射によるDNA付着強度向上(機械要素,潤滑,設計,生産加工,生産システムなど)
- 癌細胞核の力学特性計測(J23-3 マイクロナノ理工学(3),J23 マイクロナノ理工学)
- 癌細胞核の力学特性計測(OS8-3 超音波とマイクロ・ナノ計測,OS8 実験力学の新たな発展)
- 554 自己アフィン表面を有する半無限弾性体の力学 : 石英ガラス光ファイバの不均一腐食エイジングモデル(OS7-8 微視的挙動・効果III)(OS7 微視構造を有する材料の力学)
- ハニカム構造を利用した変位拡大装置(トピックス)
- J0204-2-2 アーチ型圧電フィルムセンサを用いた高感度・無拘束型心拍呼吸モニタリング(生体振動計測とその応用(2))
- 450 ナノワイヤの付着力(T08-2 金属ナノ材料の創製と展開(2) 金属ナノ材料の評価と応用,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 449 ナノワイヤの機械特性試験 : ヤング率と破断強度の評価(T08-2 金属ナノ材料の創製と展開(2) 金属ナノ材料の評価と応用,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 145 ナノワイヤの曲げ加工技術によるナノコイルの創製(材料力学III)
- 327 プラスチック製DNAチップの高性能化の基礎研究(OS-16 微細加工と表面機能)
- 315 シアフォース制御ナノ加工用の集中質量型カンチレバー(機械材料・材料加工II)
- P88 遺伝子診断チップ上DNA分子のキャラクタリゼーション : 付着エネルギーと面密度(微視構造,ポスター講演3)
- 203 原子間力超音波顕微鏡の高感度化によるDLCナノ薄膜の弾性率評価(GS2 ナノ23)
- 1448 原子間力超音波顕微鏡によるDLCナノ薄膜の弾性率評価(S20-1 材料特性評価(1),S20 実験力学的手法による材料・製品の評価)
- ナノ接触共振による微小領域の弾性率評価
- 石英ガラス光ファイバのエイジングにおける強度低下の予測
- 平坦ポンチ状探針を用いた原子間力超音波顕微鏡によるナノ領域弾性の定量評価(材料力学I-2)
- 高感度AFAMによるナノ領域弾性の定量評価(OS8-3 超音波とマイクロ・ナノ計測,OS8 実験力学の新たな発展)
- 大口径光ファイバの破断寿命に及ぼす曲げ半径の影響(GS10 セラミックス・腐食)
- ハニカム構造を利用した変位増幅圧電アクチュエータ(GS8 マイクロ/ナノ試験・薄膜)
- 高感度原子間力超音波顕微鏡による疲労表面の観察(GS8 マイクロ/ナノ試験・薄膜)
- 410 高感度AFAMによる疲労表面の観察(破壊の発生とその評価,破壊の発生・進展とその評価および抑制,オーガナイスドセッション・8,第53期学術講演会)
- 6-332 機械工学教育でのからくり時計製作の試み(口頭発表論文,(8)ものつくり教育-XI)
- T0401-2-3 集中質量型カンチレバーの接触共振による金属ナノ材料の弾性計測(金属ナノ材料の創製と展開(2))
- T0401-2-2 金属被覆ナノコイルの形成メカニズムに関する分子動力学的検討(金属ナノ材料の創製と展開(2))
- 二酸化チタン含有ポリカーボネート基板へのイオンビーム照射によるDNA付着強度向上
- 933 石英ガラス光ファイバの腐食における自己アフィン表面の成長
- 204 石英ガラス光ファイバの不均一腐食モデルとエイジング予測(材料評価I)
- 319 確率微分方程式による不均一腐食のシミュレーションと光ファイバの老化モデル
- 光ファイバの寿命予測パラメータに関する簡易評価法
- 105 集中質量型高感度プローブによる局所弾性のナノ分解能マッピング
- F-1107 付加質量形AFMプローブの接触共振による微小領域弾性計測の高感度化(J25-2 光学的手法・弾性的性質)(J25 機械力学,材料力学,エンジン関連の計測技術)
- 244 付加質量形AFMプローブの接触共振による微小領域弾性計測の高感度化(OS6-10 AFM・X線)(OS6 実験力学の新展開)
- 403 付加質量形AFM片持はりの接触共振による微小領域弾性的性質の高感度検出(材料力学・設計)
- 1104 原子間力超音波顕微鏡の高感度化による硬質ナノ組織の観察
- 石英ガラスファイバの強度評価
- マイクロジェットを利用したAFMカンチレバーのばね定数計測
- 1103 マイクロジェットを利用した AFM カンチレバーのばね定数計測
- 704 ガス流体力を利用した AFM 微小片持はりの負荷試験
- 原子間力顕微鏡と超音波顕微鏡の融合
- 107 集中質量形AFMプローブの接触共振に基づく局所弾性の定量評価(材料力学II)
- A Method of Evaluating Local Elasticity and Adhesion Energy from the Nonlinear Response of AFM Cantilever Vibrations
- 102 曲げを受ける光ファイバ・インターコネクションの破断率評価法(腐食損傷・計測I)
- 730 AFM 片持はりの非線形振動応答に基づく微小領域表面物性の同定法
- 高強度光ファイバの寿命を支配する特定初期欠陥寸法
- 光ファイバの微小なき裂をみる(見る・観る・視る)
- 光ファイバの不思議な強度特性
- 指数関数則に基づく光ファイバ破断寿命の確率的保証法
- 光ファイバの破壊靱性に及ぼす湿度の影響
- 光ファイバにおける微小き裂成長の計測とき裂進展則の評価
- 構造減衰による延性不安定破壊の遅延に関する一提案
- 実物試験片による光ファイバの破壊靱性の評価
- 定荷重下における時間依存形き裂進展の不安定遷移
- モードIII形荷重下における弾粘塑性体内定常き裂進展問題の漸近解
- G0400-2-6 集中質量型カンチレバーのナノ接触共振による水晶ウエハの加工変質層の評価([G0400-2]機械材料・材料加工部門一般(2):非金属材料の力学)
- J1802-2-4 アーチ型圧電フィルム心拍呼吸センサの感度向上設計([J1802-2]生体計測とヒューマンファクタ(2))
- T0301-1-4 コア流動法によるナノコイル形成の曲率制御([T0301-1]金属ナノ材料の創製と展開(1))
- 002 製膜ひずみとコア流動を利用した金属被覆ナノワイヤの曲げ加工(GS1-1 一般セッション)
- 104 コア流動による金属被覆ナノワイヤのコイル形成(学生賞I,一般講演)
- 409 渦電流誘導による金属薄膜の導電率評価(材料・設計(2))
- 138 金属薄膜への渦電流誘導と導電率評価(材料力学III,一般講演)
- 716 シアフォース制御下の超音波摺動によるナノリソグラフィー(材料・設計(6))