MNM-5B-6 変位増幅機構を用いた進行波型マイクロポンプ(セッション 5B マイクロエネルギー)

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概要

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• In this research, we propose a progressive wave type micropump with hydraulic displacement amplification mechanism. Micropump contains micro-cavities that have different cross-sectional areas between at the upper and lower parts and encapsulate incompressive glycerin with largely-deformable thin PDMS membranes. The flow channel is bonded on the upper part. The lower side is vibrated with the piezo actuator. The progressive wave amplified on the surface of the flow channel according to the difference of the sectional area is generated. As this progressive wave, the fluid is transported.

• 2010-10-12

著者

• 三木 則尚

  慶應義塾大学理工学部機械工学科

• 三木 則尚

  慶大理工

• 岡山 哲之

  慶應義塾大学

• 岡山 哲之

  慶応義塾大学

• 三木 則尚

  慶應義塾大学

• 吉村 香

  慶應義塾大学

• 中原 渓次朗

  慶應義塾大学

• 中原 渓次朗

  慶大

• 三木 則尚

  慶応大

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