MP-29 大変形ポリマー薄膜を用いた進行波型マイクロポンプ(ポスターセッション)
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概要
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In this research, we propose a progressive wave type micropump with hydraulic displacement amplification mechanism. Micropump contains micro-cavities that have different cross-sectional areas between at the upper and lower parts and encapsulate imcompressive glycerin with largely-deformable thin PDMS membranes. The flow channel is bonded on the upper part. The lower side is vibrated with a piezo actuator. The progressive wave amplified on the surface of the flow channel according to the difference of the cross-sectional area is generated. By these progressive wave, the fluid is transported.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-25
著者
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