1A2-H04 触覚ディスプレイのための大変位MEMSアクチュエータ特性評価(MEMSとナノテクノロジー)
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概要
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Tactile information is transferred by stimulating finger tactile receptors by the actuators at various spatial and temporal frequencies. When a skin vibration is large displacement and high frequency, tactile receptors can detect effectively. In this paper we propose large displacement MEMS actuator that drives high frequency and produces large displacement for tactile display. The actuator is consisted of a piezoelectric actuator and a hydraulic displacement amplification mechanism (HDAM) that encapsulates a liquid in a micro-chamber with two flexible membranes. HDAM can amplify the piezoelectric actuator's displacement. We investigated Initial Position as a static characteristic. And also owing to HDAM, input amplitude is exactly amplified.
- 2011-05-26
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