MNM-P4-1 ガラスのナノ・マイクロ加工における表面特性への加工方法の影響(P4 ナノ・マイクロ異相界面センシングと制御)
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概要
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Research of biochemical analysis system using micro/nano flow channel and fluid device has been ongoing actively. In micro/nano flow channel, effect of surface condition is larger than that of normal scale. Thus, physical or chemical characteristics such as surface roughness, zeta potential largely affect a system. In this paper, we used hydrofluoric acid to etch glass surface. We measured the relation between time and etching depth, and successfully indicated the relation between etching depth and surface roughness or zeta potential.
- 2010-10-12
著者
-
三木 則尚
慶応義塾大学
-
菱田 公一
慶應義塾大学理工学部
-
佐藤 洋平
慶應義塾大学理工学部
-
佐藤 洋平
慶大
-
菱田 公一
慶應義塾大学
-
菱田 公一
慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科
-
菱田 公一
慶應義塾大学 理工学部
-
菱田 公一
慶大
-
三木 則尚
慶大
-
古賀 洋介
慶大
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