超高Δ石英系導波路に於ける紫外光誘起屈折率変化(光部品・光デバイスの実装・信頼性,一般)
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概要
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超高Δ石英系光回路を構成する導波路として有望とされるTa_2O_5添加石英系導波路,並びにSiON導波路に関して,ArFエキシマレーザー光を照射し,誘起される屈折率変化,及び損失変化に関する特性をアレイ導波路波長合分波器(AWG)を用いて評価した.又,誘起屈折率変化,誘起損失の熱緩和特性を評価し,光回路における光路長調整応用に関して検討した.
- 2011-04-15
著者
-
小湊 俊海
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
阿部 淳
日本電信電話株式会社nttフォトニクス研究所
-
那須 悠介
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
伊東 雅之
日本電信電話株式会社 NTTフォトニクス研究所
-
井藤 幹隆
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
阿部 淳
NTT光エレクトロニクス研究所
-
小湊 俊海
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所
-
那須 悠介
日本電信電話(株)フォトニクス研究所
-
井藤 幹隆
Nttフォトニクス研究所日本電信電話株式会社
-
阿部 淳
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所
-
井藤 幹隆
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所
-
那須 悠介
NTTフォトニクス研究所
-
井藤 幹隆
日本電信電話株式会社フォトニクス研究所
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