432 磁場駆動型小型マイクロガスバルブの開発(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
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概要
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We developed magnetostrictive actuators, that is, Fe_<80>Ga_<20>/Ni and Fe_<70.4>Pd_<29.6>/Ni bimorph layers. These cantilever-type actuators can be bent by applying magnetic field parallel to length. These actuators were applied to a micro-gas valves. The opening and closing action of a valve consisting of magnetostrictive bimorph layers can be controlled remotely by magnetic fields. Gas flow rate can be driven from 50 to 0 cc・min^<-1> by increasing the magnetic field to 300 Oe. The response time to the applied magnetic field is below 0.15 sec. Moreover, these magnetostrictive actuators are excellent in durability.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-11-06
著者
-
古屋 泰文
Graduate School Of Science And Technology Hirosaki University
-
岡崎 禎子
弘前大
-
斉藤 千尋
並木精密宝石
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古屋 泰文
弘前大
-
岡崎 禎子
Graduate School Of Science And Technology Hirosaki University
-
小笠原 直樹
弘前大学理工学研究科
-
斉藤 千尋
並木精密宝石株式会社njc研究所
-
Furuya Yasubumi
Fac. Of Sci. And Technol. Hirosaki Univ.
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