1332 バイモルフ磁歪アクチュエータ素子を用いた磁場駆動マイクロガスバルブ(J14-7 知的材料・構造システム(7) 各種アクチュエータ,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
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概要
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In order to develop magnetostrictive actuator induced by low magnetic field, we investigated magnetostrictive (positive magnetostriction/negative magnetostriction) bimorph-layers, that is, rapidly solidified Fe-Pd, Fe-Ga ribbons (100 μm)/Ni(50 μm). Displacement of the upper part of bimorph-layers with length of 20 mm was 230 μm under low magnetic field (500Oe). The bimorph-layers actuator was applied in micro-gas-valve. Flow rate of Ar with 7kPa is driven by magnetic field of 350Oe.
- 2008-08-02
著者
-
古屋 泰文
Graduate School Of Science And Technology Hirosaki University
-
岡崎 禎子
弘前大
-
斉藤 千尋
並木精密宝石
-
古屋 泰文
弘前大
-
今泉 伸夫
並木精密宝石
-
岡崎 禎子
Graduate School Of Science And Technology Hirosaki University
-
斉藤 千尋
並木精密宝石株式会社njc研究所
-
田中 正宗
弘前大
-
Furuya Yasubumi
Fac. Of Sci. And Technol. Hirosaki Univ.
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