534 バイモルフ磁歪アクチュエータを用いたマイクロバルブの試作(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス2)
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概要
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In order to develop magnetostrictive actuator induced by low magnetic field, we investigated magnetostrictive (positive magnetostriction/negative magnetostriction) bimorph-layers, that is, rapidly solidified Fe-Pd, Fe-Ga ribbons (100μm)/Ni(50μm). Displacement of the upper part of bimorph-layers with length of 20mm was 230μm under low magnetic field (500Oe). The bimorph-layers actuator was applied in micro-gas-valve. Flow rate of Ar with 7kPa is driven by magnetic field of 350Oe.
- 2007-11-16
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