OD05 超音波原子間力顕微鏡による表面下の欠陥評価(光超音波エレクトロニクス,非破壊検査)

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概要

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• 2000-11-06

著者

• 辻 俊宏

  東北大学大学院工学研究科:jst-crest

• 辻 俊宏

  東北大 (院)

• 山中 一司

  東北大

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