ナノインデンテーション法によるCu薄膜の評価

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概要

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• 2000-11-01

著者

• 丸山 祥輝

  東北大学

• 辻 俊宏

  東北大(院)

• 辻 俊宏

  東北大学大学院工学研究科:jst-crest

• 丸山 祥輝

  東北大(院)

• 小木 梨津子

  東北大(院)

• 山中 一司

  東北大(院)

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