共焦点光学系を利用したサンプル表面の高さ計測システムの試作
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概要
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卒業研究の一環として、共焦点光学系を用いてサンプル表面の高さの3次元的評価を行うことができる独自のサンプル形状評価システムの構築を進めている。最終的な目標としては、電気接点表面のアーク放電などに伴う損傷状態の数値的な解析・評価に使用することを想定しており、これまでにシステムの基本的な構成ならびに機能を構築した。今回、数ミリオーダから数μmオーダのサンプル表面の高さを実際に測定して、測定の再現性および測定精度の面での実力を確認したところ、再現性に関しては満足な結果が得られた。一方、測定精度に関しては、mmオーダのサンプルでは10%程度の誤差率となったものの、μmオーダのサンプルに対しては非常に大きな誤差を含む結果となった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-05-09
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