走査型デジタルレーザ顕微鏡による転移消耗特性の数値評価に関する一考察
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概要
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走査型デジタルレーザ顕微鏡を使用して各種材料の転移消耗特性の数値評価を行う際の参考にするために、対物レンズの倍率の選択や体積計測プロセスにおける二値化処理の閾値レベルの設定状況によって、得られる計測値にどのような影響が生じるかを検討した。その結果、コンタクト表面の3次元形状の観察及び数値的評価にあたっては、20倍程度の対物レンズを使用し、必要に応じて画像貼合わせ機能を活用した計測を実施することで、良好な計測を行えることを確認した。また、コンタクト表面に形成された凹部・凸部の体積値算出における二値化処理にあたって、観察画像の輝度分布を考慮した閾値レベルの設定が効果的であることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-06-08
著者
-
沢 孝一郎
慶應義塾大学
-
長谷川 誠
千歳科学技術大学
-
沢 孝一郎
慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科
-
牧元 次郎
慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科
-
牧元 次郎
慶應義塾大学理工学部 システムデザイン工学科
-
沢 孝一郎
慶應義塾大
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