超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発(第1報) : ファストツールサーボユニットの試作と基本性能の評価
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概要
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超精密加工において要求される形状の複雑化・大面積化に伴って加工時間の短縮が大きな課題となる.本論文では工具を任意方向に駆動可能なユニットを用いた3軸FTSユニットを開発した.ユニットは工具に対して直交3方向に圧電素子を配置し各圧電素子を独立して制御することで工具を3次元的に駆動可能である.本報ではユニットの基本特性と加工結果について報告する.
- 社団法人精密工学会の論文
- 2007-12-05
著者
-
和田 紀彦
松下電器産業(株)
-
高橋 正行
松下電器産業(株)
-
森脇 俊道
摂南大学工学部
-
中本 圭一
神戸大学大学院
-
森脇 俊道
摂南大学工学部マネジメントシステム工学科
-
中本 圭一
大阪大 大学院
-
和田 紀彦
松下電器 生産革新本部
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