PLD法によるEuGa_2S_4薄膜の作製と評価(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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ユーロピウムチオガレートEuGa_2S_4はE_g=2.3eVを有し、Eu^<2+>によるフォノン終端型発光を示す。本研究ではパルスレーザー堆積法(PLD法)を用いてEuGa_2S_4薄膜の作製および評価を目的とし、EuGa_2S_4の基礎特性を調査した。評価はEPMAによる組成分析、XRD測定、透過率測定、PL・PLE測定を行った。光学写真、EPMAによる組成分析やXRD測定結果からKrFエキシマレーザのエネルギー密度E_D=0.5J/cm^2で作製した試料は薄膜が形成され一部に酸化物が含まれているもののEuGa_2S_4の組成およびXRDピークを観測した。光学特性結果はEu^<2+>によるブロードな発光スペクトルを示した。
- 2007-11-09
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