圧電薄膜カンチレバーのパラメータ制御に関する一検討 : 弾性およびQ値の制御
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概要
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原子間力顕微鏡(AFM)では,試料表面を走査するプローブとして圧電薄膜カンチレバー(カンチレバーのアクチュエーションやたわみのセンシングを目的として圧電性薄膜が一体化されたカンチレバー)が用いられる.本報告では,圧電薄膜カンチレバーのパラメータ制御を提案し,カンチレバーのQ値および弾性がフィードバックにより制御可能であることを明らかにする.また,伊達らのアイディアに基づき,圧電層に並列に容量成分を挿入することでフィードバックを用いることなく,カンチレバーの弾性の制御が可能であるか検討する.さらに提案する弾性制御手法を用いることで,Moreno-Morenoらの提案するパラメトリック共振モードAFMが実現可能であることを示す.
- 2007-01-10
著者
-
引原 隆士
京都大学 工学部 電気工学科
-
冨田 達也
京都大学 大学院 工学研究科 電気工学専攻
-
山末 耕平
京都大学 大学院 工学研究科 電気工学専攻
-
引原 隆士
京都大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
引原 隆士
京都大学 大学院 工学研究科
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