3-6 タングステン遮光膜構造によるCCDのスミア低減
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概要
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A new tungusten light-shield film is presented for CCD image sensors. The film with good step-coverage and low reflectivity realized excellent smear values of less than 0.001%.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1990-07-25
著者
-
織原 弘三
日本電気株式会社シリコンシステム研究所
-
豊田 新
日本電気株式会社
-
豊田 新
日本電気(株)システムプラットフォーム研究所
-
穂苅 泰明
NEC ULSIデバイス開発研究所
-
織原 弘三
日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
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穂苅 泰明
日本電気(株)超LSI開発部
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織原 弘三
日本電気(株)
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