自己整合法による微小球レンズ装荷裏面入射型高速受光素子アレイ(光部品の実装・信頼性,一般)
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概要
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本論文は,アレイ化した受光素子を高速化のために受光面を小さく且つ裏面入射型にし,各受光面に対応した微小球レンズを装着して,感度の向上と単一モードファイバとの位置合わせ精度の許容幅(トレランス)拡大を狙ったものである.受光部は,直径40μmのInGaAs系のp-n接合で,250μmのピッチで4個アレイ化してある.厚さ160μmのチップで受光部に対向する位置に直径50μmの凹部を形成し,そこに透明性樹脂を用いて直径180μmの球形ガラスレンズを自己整合で位置合わせし,固定している.単一モードファイバを介し,波長1.31μmと1.55μmレーザ光を照射した測定の結果,球レンズによって光の結合効率は3.43倍向上し,光軸に平行(9.23倍)・垂直方向(2.17倍)のトレランスも大幅に改善している.
- 2006-04-14
著者
-
中野 義昭
東京大学 先端科学技術研究センタ
-
宋 学良
東京大学 先端科学技術研究センター
-
西出 和広
東京大学 先端科学技術研究センター
-
池田 健志
東京大学 先端科学技術研究センター
-
王 書栄
東京大学 先端科学技術研究センター
-
池田 健志
東京大学 先端科学技術研究センター:株式会社 インテレオ
-
西出 和広
東京大学 先端科学技術研究センター:雇用能力開発機構 高度職業能力開発促進センター
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