522 単結晶InPのナノインデンテーションに関する研究(OS7 ナノ・マイクロ加工)
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概要
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Depth-sensing nanoindentation tests were made on single-crystal InP at various loads using a sharp pyramid-type diamond indenter, and the resulting indents were examined using SEM and TEM. The results suggest that dislocations and slips dominate the deformation mechanism, where no phase transformation occurs. A high-density dislocation region was formed just beneath the indenter, below which is a low density dislocation region. The geometry and size of the high density dislocation region showed a correlation to the shape of the indenter and the indentation load. The dislocations along the <111> directions were dominant. The micro hardness of InP was also experimentally obtained.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
著者
-
田牧 純一
北見工業大学
-
田牧 純一
社団法人 砥粒加工学会
-
田牧 純一
北見工大
-
閻 紀旺
東北大学
-
閻 紀旺
北見工大
-
閻 紀旺
北見工業大学
-
杉野 豪
北見工大
-
坂井 伸
北見工大
-
岩本 健
北見工大
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