519 切削加工によるガラスのマイクロファブリケーション(OS7 ナノ・マイクロ加工)
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概要
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Cutting processes are discussed to fabricate micro patterns on glasses in this paper. The principle of glass milling is shown to machine the crack-free surface. The cutting tests with ball end mills are performed to verify that the milling mechanism is effective to machine the glass without brittle fracture. Based on the results, a machine tool is developed to fabricate micro-scale patterns. The machine tool has seven axes to .machine materials with the tilted ball end mill. It is shown that the developed machine tool works well in some machining examples.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
著者
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