量子分子動力学法によるシリコン酸化膜の酸素欠損構造と電気特性に関する検討(OS13b 電子・原子シミュレーションに基づく材料特性評価)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-17
著者
-
庄子 哲雄
東北大学
-
庄子 哲雄
東北大院工
-
伊藤 雄太
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
庄子 哲雄
東北大院 破壊制御システム研究施設
-
鈴木 研
東北大院
-
三浦 英生
東北大院
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