3.2 サドンデスTEGとOBIRCHを用いたダマシンCu配線のエレクトロマイグレーション評価(セッション3「故障解析・デバイス(2)」)(第16回信頼性シンポジウム発表報文集)
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概要
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- 日本信頼性学会の論文
- 2003-11-25
著者
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