Effect of Carbon on Formation of Electron-Irradiation-Induced Secondary Defects in Silicon
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1986-01-20
著者
-
大嶋 隆一郎
大阪大学基礎工学部
-
Oshima Ryuichiro
Department Of Chemical Engineering Faculty Of Engineering Science Osaka University
-
FUJITA Francisco
Department Materila Physics,Faculty of Engineering Science,Osaka University
-
Fujita Francisco
Department Of Material Physics Faculty Of Engineering Science Osaka University
-
Hasebe M
Nippon Steel Corp. Yamaguchi Jpn
-
HASEBE Masami
Department of Material Physics, Faculty of Engineering Science, Osaka University
-
Fujita Francisco
Department Materila Physics Faculty Of Engineering Science Osaka University
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