5p-A3-2 重金属原子をドープしたSiの電子線照射誘起二次欠陥の挙動

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概要

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• 1988-09-16

著者

• 藤田 英一

  阪大基礎工

• 藤田 英一

  静岡理工科大学

• 大嶋 隆一郎

  阪大基礎工

• 藤田 英一

  大阪大学 基礎工学科

• 大嶋 隆一郎

  大阪大学基礎工学部

• 崎山 達也

  阪大学生

• 華国 春

  阪大大学院

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