オンチップ電源配線の電気特性の評価
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概要
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数100MHz帯で動作する超高速LSIでは、高速な回路動作によって信号配線間や電源配線に生じるノイズに対する対策が必須である。この対策には、チップ上配線に生じるノイズの挙動を解析する必要がある。そこで今回、このような観点からチップ上の電源配線の電気特性について測定・評価を行った。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
山下 寛樹
(株)日立製作所中央研究所
-
磯村 悟
(株)日立製作所中央研究所デバイス開発センタ
-
山下 寛樹
日立製作所中央研究所
-
以頭 博之
(株)日立製作所中央研究所
-
宮澤 健悟
日立製作所デバイス開発センタ
-
大森 利恵子
日立製作所中央研究所
-
磯村 悟
日立製作所デバイス開発センタ
-
以頭 博之
日立製作所中央研究所
-
山下 寛樹
日立製作所中央研究所:技術研究組合光電子融合基盤技術研究所
-
山下 寛樹
日立製作所 中央研究所
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