表面処理GGG基板上へのCe置換YIG薄膜の作成
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概要
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希土類鉄ガーネットは,大きな磁気光学効果を有し,光アイソレータ等の磁気光学デバイスへの応用が期待されている.特にCe置換希士類鉄ガーネット(置換YIG)は他の希土類鉄ガーネットに比較して非常に大きなファラデー回転係数を持つ.既に五味らにより記録用単結晶膜が,美野らにより導波路応用のための薄が作成されている.また,J.P.Krummeらはスパックにより表面処理した基板上に薄膜を作成している.今回はアルゴンイオンミリング装置を用いてGGG基板表面の処理を行い,基板上に成長する薄膜へ与える影響を調べた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
-
木村 真
アーズ(株)
-
岡野 英明
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
本村 真
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
本村 真
大阪大学基礎工学部
-
岡野 英明
大阪大学基礎工学部
-
山本 錠彦
大阪大学基礎工学部
-
岡村 康行
大阪大学基礎工学部
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