スパッタエピタキシーによるCe置換YIG薄膜の作成 : 基板材料による影響
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概要
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希土類鉄ガーネットは、大きな磁気光学効果を示し、光アイソレータ等の磁気光学デバイスへの応用が期待される。Ce置換希土類鉄ガーネットは他の希土類鉄ガーネットに比較して非常に大きなファラデー回転係数を持つ。既に五味らにより記録用単結晶膜が、美野らにより導波路応用のための薄膜が作成されている。我々もこれまでに超高真空チャンバーを有するRFマグネトロンスパッタ装置を用いたCe置換YIGエピタキシャル膜を作成してきた。ここではGG基板とNGG基板を用い、基板の格子定数差による薄膜への影響を調べた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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