マグネトロンスパッタによるCe置換YIG単結晶薄膜の作成
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概要
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希土類鉄ガーネットは大きな磁気光学効果を示し、光アイソレータ等の磁気光学デバイスへの応用が期待される。Ce置換希土類鉄ガーネットは他の希土類鉄ガーネットに比較して非常に大きなファラデー回転係数をもつ。既に五味らにより記録用Ce置換YIG単結晶膜が、美野らにより導波路応用のためのCe置換YIG膜が作成されている。これらはRE二極スパッタにより結晶成長を行なわれている。吉野らはマグネトロンスパッタ法により薄膜形成を行い、基板温度や結晶成長レート等において既報告例との相違を示している。ここでは超高真空チャンバーを有するRFマグネトロンスパッタによりCe置換YIG単結晶薄膜を作成し、その特性を調べた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
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