3軸容量型加速度センサ用検出回路に関する研究(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
本研究では, 3軸容量型加速度センサ用に容量検出回路を0.35μmCMOSプロセスで設計・試作した.回路はクロック発生回路・クロック6相化回路・容量検出回路からなり, 容量検出回路にはオフセットの影響を受けにくい, チャージバランス型C-Vコンバーターを採用した.完成したチップと可変容量を組み合わせて動作確認を行い, その後容量型加速度センサと組み合わせて出力特性の測定を行った.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-07-07
著者
関連論文
- 短距離通信用CMOS集積化光受信器の開発(集積エレクトロニクス)
- 教育用NMOS集積回路の製作と評価
- SOI構造を用いた高温用3次元加速度ベクトルセンサ
- 可視光通信用CMOSフォトICの設計と評価
- 標準CMOSプロセスによる可視光ID用フォトダーリントン
- 交流電極に誘起されるマイクロ浮力流れ
- B-10-87 光トランシーバ用高効率集光器の試作(B-10. 光通信システムB(光通信), 通信2)
- B-10-79 光トランシーバ用高効率集光器
- グレイスケールリソグラフィと構造体転写を用いた感光材料と樹脂材料の微細3次元加工
- グレイスケールマスクによるSU-8への3次元構造体形成と転写
- エマルジョングレイスケールマスクの紫外線透過量と感光性ガラスの3次元加工
- 微小クロムパターンを用いたグレイスケールリソグラフィーの研究
- UV-LEDリソグラフィによるマイクロレンズアレイの製作
- 可視光IDとIrDAを融合した送受信システムの提案と評価(アクセスシステム及びアクセス用光部品,光無線システム(ROF,FWA等),光映像伝送(CATV含む),オペレーション/保守監視,光計測,光ファイバ,光ファイバケーブル,一般)
- 可視光IDとIrDAを融合した送受信システムの提案と評価
- 可視光IDとIrDAを融合した送受信システムの提案と評価(光通信・変調技術及びその応用,アクセスシステム及びアクセス用光部品,光無線システム(ROF,FWA等),光映像伝送(CATV含む),オペレーション/保守監視,光計測,光ファイバ,光ファイバケーブル,一般)
- 可視光通信と赤外線通信を融合させたデータ配信システム(光通信システム,光アクセスシステム・次世代PON、地上・衛星放送システム、衛星通信システム、CATVシステム、イーサネット、伝送監視制御、光ファイバケーブル・コード、通信用光ファイバ、光線路保守監視・試験技術、光ファイバ測定技術、地上・衛星放送関連デバイス・機器・設備、家庭用受信デバイス・機器、ホーリーファイバ、機能性光ファイバ、光ファイバ線路構成部品、光回路部品、周波数有効利用技術、変復調技術、電磁界解析およびシミュレーション技術、無線・光伝送境界領
- 抜き勾配を有する微細構造による超撥水表面の作製
- 可視光ID用光源選択システムの提案と評価(ネットワークプロセッサ,通信のための信号処理,無線LAN/PAN,一般)
- 可視光ID用光源選択システムの提案と評価(ネットワークプロセッサ,通信のための信号処理,無線LAN/PAN,一般)
- 可視光ID用光源選択システムの提案と評価(ネットワークプロセッサ,通信のための信号処理,無線LAN/PAN,一般)
- 液体式抵抗型4方向傾斜スイッチの試作と評価
- プロキシミティ裏面露光によるテーパ形状の製作と応用
- 電解液を用いた容量型傾斜スイッチに関する研究
- CMOS集積回路を用いた片面電極液体封入式傾斜センサに関する研究
- 0.18μmCMOSプロセスを用いた可視光通信用アバランシェフォトダイオードに関する研究
- 可視光通信用LEDドライバーの試作と可視光LEDの応答性能の評価(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)
- 可視光通信用LEDドライバーの試作と可視光LEDの応答特性の評価
- 傾斜回転露光法による三次元加工法
- 感度とオフセット補償可能なPLL方式容量検出CMOSICの試作
- 短距離通信用CMOS集積化光受信器の開発
- 短距離通信用CMOS集積化光受信器の開発(アナログ・デジアナ・センサ,通信用LSI)
- 交流駆動方式液体式抵抗型傾斜センサ
- 交流駆動方式液体式抵抗型傾斜センサ
- 電解液を用いた容量型水平センサの試作と評価
- 液体封入式電気抵抗型傾斜センサの試作と特性評価
- IEEE Sensors 2008 国際会議報告
- 可視光ID用受光システムの試作
- 電解液を用いた静電容量型水平センサの作製
- 無電解めっき法によるガラス貫通配線の形成
- 双方向光通信用送受信素子の試作
- 可視光ID用集積化受光素子の試作
- 3軸容量型加速度センサ用検出回路に関する研究(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)
- 高アスペクト比立体形状への配線パターン露光法の開発
- 基板透過露光を用いたSU-8の三次元形状作成法
- SDB-SOIウェハを用いたセンサ用高温CMOS集積回路(第2報)
- 応力感応差動増幅器の耐環境型物理量センサへの適用
- SDB-SOIウェハを用いたセンサ用高温CMOS集積回路の試作
- SDB-SOIウェハを用いたセンサ用高温CMOS集積回路の試作
- 可視光通信と赤外線通信を融合させたデータ配信システム
- p型反転層のピエゾ抵抗効果を用いたCMOS集積化3軸加速度センサ
- 可視光通信用2眼式受信システムの光学設計と受信特性
- SOI構造を用いた高温用磁気センサ
- IVV法を用いたタンパク質スクリーニング用マイクロ化学チップ
- グレイスケールマスクを用いたガラスの三次元微細加工技術
- シリコンマイクロマシニング技術を用いた45度ミラーの研究
- 可視光通信用2眼式受信システムの光学設計と受信特性
- スマートフォン計測用低電圧差動増幅回路の評価
- 集積化センサとその設計・製作 : 特集号企画にあたって
- 低電圧CMOSインバータ型差動増幅回路の特性評価