2次元プロセスシミュレータ用汎用拡散スキームの開発
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概要
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2次元プロセスシミュレータに, 新規拡散モデルを容易に組み込むことの出来る機構を設けた. 従来のプロトタイプモデル開発用偏微分方程式ソルバに比べ, 1.複数の異なった領域からなる構造の取扱いが可能, 2.領域境界に中間層を設け, 不純物のパイルアップ等のモデル化が可能, 3.二つの領域間の異なる拡散種間で結合拡散フラックスを定義可能, 4.フルプロセスシミュレータの一機能として実装されているため, 現実的な初期条件やデバイス構造の取扱いが可能, 等の特長を有している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-09-25
著者
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