点欠陥拡散モデルにおける統一のパラメータの抽出手順の構築
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概要
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点欠陥拡散モデルにおける汎用性のある統一パラメータの系統的かつ物理的根拠に基づいた抽出手順を構築した。パラメータとプロセス条件の感度に関するマトリクスを用いて、パラメータの抽出順序と抽出に用いるプロセス条件を決定した。パラメータは、その優先順位に従って4つのカテゴリに分類し、測定された1次元プロファイルを再現するように一つずつ抽出した。抽出したパラメータ値を用いた2次元シミュレーションにより電気特性を計算し、パラメータ値の実用性を検証した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-10-23
著者
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