四面体Delaunay分割を用いた3次元配線シミュレータの開発

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概要

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3次元任意形状配線における配線容量, 抵抗/インダクタンスなどの配線寄生パラメータを計算する配線シミュレータを開発した。数値誤差による四面体Delaunay分割破綻を避けるため、新節点を含む四面体群の最外殻三角形と新節点の位置情報から数値誤差による判定誤りを検出し、判定誤りを修正する方法を示した。また、四面体要素とユーザ定義立体との交差の解消、四面体要素の外心が物質境界の外に出ている四面体の解消を行った。四面体分割に要する時間は、節点数nに対してO(n^1.5>)である。DRAMのセル/ビット線部分をテスト構造とした容量解析で、節点数が20000点の時に容量値の誤差が2パーセント以下に収まり、全解析時間はR4000(50MHz)搭載のEWS4800/350にて約18分である。
社団法人電子情報通信学会の論文
1993-09-16

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