負の電子親和力をもつダイヤモンドからの電子放出 (ワイドギャップ半導体とそのデバイス応用論文小特集)

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概要

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ダイヤモンドは, その負の電子親和力のため, 他の冷陰極材料に比べ, 非常に優れた電子放出特性を示すことが期待されている。我々は, モールド法により, アレー一面形状制御されたほう素添加ピラミッド状ダイヤモンドを作製し, その電子放出特性を測定したところ, 同一形状をもつ他の冷陰極材料に比べ低い立上りを示すことを確認した。また, 水素処理後の表面から安定した電流が得られることが明らかになった。一方, 尿素を不純物源として成長した窒素添加ダイヤモンドの電子放出特性は著しく低い立上りを示し, 電池駆動も可能であることが示唆された。更に, ダイヤモンドの電子放出機構の解析に関しても検討を行った。
社団法人電子情報通信学会の論文
1998-01-25

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