インバースモデルシステムの開発と二次元プロファイル抽出(<特集>プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)

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概要

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素子の微細化にともない, 電気特性から不純物分布を推定するインバースモデリングの重要性が増しつつある.新たに汎用最適化ツールを作成し, プロセスシミュレーションを用いて設定した不純物分布を持つ素子をターゲットとし, 様々なゲート長での容量-電圧特性および電流-電圧特性を用いてインバースモデルを行った.このツールを利用することで, チャネル不純物分布だけでなく, ソースドレインやポケットなどの二次元構造を持った不純物分布を推定することができた.また, 上記ツールには汎用性を持たせているため, インバースモデルだけでなく, イオン注入のパラメータ抽出など物理モデルのパラメータ抽出にも適用できた.
2005-09-20

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