モンテカルロイオン注入シミュレーションの効率的手法
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概要
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モンテカルロイオン注入シミュレーションを行なう際の効率的な粒子分割法を提案する。この手法では、ユーザが、分割数の代わりに、計算される濃度の下限値を入力する。このため、半導体素子設計を目的とした計算に都合が良い。また高濃度領域での分割が抑制されるので、計算時間が効率的に短縮できる。内製の1次元,2次元シミュレータにこの分割法を組込んだところ、所要時間が分割法を用いない場合の1/100-1/1000で済むことが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-08-26
著者
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