酸系・アルカリ系洗浄液中の界面活性剤がシリコン表面に及ぼす影響
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概要
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フッ酸系洗浄液(DHF,BHF,HNO_3, HF/H_2O)中の界面活性剤がシリコン表面へ及ぼす影響を,金属付着,酸化,表面ラフネスの観点から調べた。界面活性剤の添加によってDHF,BHF中でのCr以外の金属付着の抑制と,HNO_3/HF/H_2O中での表面荒れを抑制できることを確認した。Cr付着の増加は,界面活性剤によるシリコン酸化作用と関連していると考えられる。またアルカリ系薬液への界面活性剤の新たな適用として,界面活性剤をSC1(NH_4OH/H_2O_2/H_2O)のH_2O_2の代わりに使用することを検討し,良好なシリコン洗浄効果を得た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-08-17
著者
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