有機液体原料を用いたHWCVD法によるSiCNエッチストッパーの作製(2004先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア太平洋会議)
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概要
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原料ガスに非爆発原料で有機液体原料であるヘキサメチルジシラザン(HMDS)を用いたホットワイヤーCVD法でSiCN膜を堆積した。HMDSのみでも堆積は可能であり、NH_3の添加とその流量によってSiCN膜の化学組成が制御できることが明らかとなった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-06-23
著者
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