和泉 亮 | 九州工業大学工学研究院

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概要

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• 九州工業大学工学研究院の論文著者

関連著者

• 和泉 亮

  九州工業大学工学部

• 和泉 亮

  九州工業大学工学研究院

• 小田 晃士

  九州工業大学工学部

• 野中 薫雄

  琉球大学医学部器官病態医科学講座皮膚科

• 金井 直樹

  北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科

著作論文

• 有機液体原料を用いたHWCVD法によるSiCNエッチストッパーの作製(2004先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア太平洋会議)
• 接触分解反応によって生成した原子状水素による金属表面の洗浄
• 有機液体原料を用いたHWCVD法によるSiCNエッチストッパーの作製(2004先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア太平洋会議)

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