マイクロリング共振器型多波長Add/Dropフィルタの高精度中心波長制御
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概要
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積層マイクロリング共振器フィルタは, 網目状配置によって高密度な多チャンネルAdd/Dropフィルタを構成できるが, 従来はチャンネル間隔をリング半径の制御で行っていたため, フォトマスクの製作精度の限界(50nm)からチャンネル間隔は5.7nmが限界であった. そこで紫外線照射によって屈折率が変化するポリシランをクラッド層に用いて, 紫外線の照射時間制御によって共振波長をトリミングする技術を用いて, 同一半径のリング共振器の共振波長を個別に制御し, チャンネル間隔を0.5nmまで狭間隔化し, また逆に1nmに拡大することに成功した. これによって, トリミング技術を用いた中心波長間隔の高精度制御技術の開発を実証した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-05-18
著者
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