マイクロリング共振器のフィルタ特性からのリング導波路導波損失の非破壊測定
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概要
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マイクロリング共振器フィルタのデバイス特性は,リング導波路の損失およびバスライン導波路とリング導波路間の結合比により決定されるので,このデバイスの特性の正確な把握と特性向上にはこれらのパラメータを正確にかつ非破壊で測定する方法が必要となる。本研究では,スルーポートおよびドロップポートにおけるフィルター特性から特徴パラメータを抽出し,これらを連立方程式として解くことによって,マイクロリング共振器の損失および結合比を非破壊で測定する方法を提案する。実際のデバイスヘの適用例を示し,また測定精度について検討する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-02-14
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