石英導波路型グレーティングの作製及び評価

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光誘起屈折率変化を利用したファイバグレーティングは、有効屈折率とグレーティングピッチによって決まる共振波長近傍の狭帯域で光を反射する。これを利用して、狭帯域反射フィルタ、WDM用合分波器、ファイバアンプ等、幅広い応用が考案されている。しかし、図1に示すような干渉型の光フィルタでは、3dBカプラ間の2本の光路長を正確に一致させる必要があり、ファイバを使用した場合、長さ調整が非常に困難である。一方、石英系導波路(PLC)を使用した場合、カプラ間の導波路長は、半導体技術により正確に加工できるため、量産性に優れたグレーティング型光フィルタの作製が期待できる。本報告では、石英系導波路(PLC)での光誘起屈折率変化現象の確認と石英導波路型グレーティングの作製及び評価を目的とした。PLCにおける光誘起屈折率変化のメカニズムに関する知見を得るため、ゲルマニウムを添加した導波路膜にエキシマレーザを照射して、照射前後で紫外-可視反射スペクトルを測定した。また、レーザ照射前の導波路膜に高圧水素処理を行い、その後レーザ照射した試料についても紫外-可視反射スペクトルを測定した。石英導波路型グレーティングは、直線及び図1の構成の石英系導波路に、位相マスクを介してエキシマレーザを照射し、グレーティングを形成して、Add &Drop型の光フィルタを作製し、その透過・反射特性について評価した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1996-03-11

石英導波路型グレーティングの作製及び評価

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