大面積プラズマ生成用線状アンテナのFDTD解析
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概要
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液晶ディスプレイ, 太陽電池などに使用されるアモルファスシリコン基板の大面積化を目的として, プラズマ中に置かれた折り返しモノポールアンテナ及びそのアレーの特性をFDTD法(Finite Difference Time Domain method)により数値解析している.まず, アンテナ単体の入力インピーダンスの測定値と計算値を比較することにより, プラズマ周波数, 衝突頻度及びイオンシースの厚さを推定すると共に, イオンシースを考慮することが重要であることを示している.次に, 折り返しモノポールアンテナをアレー化したときの電界分布を計算し, 膜厚分布の測定値と比較し, 両者に相関があることを明らかにしている.また, 同相給電の場合には電界分布, 膜厚分布共に不均一となるが, 給電位相を制御することにより, これらが一様な分布となることを明らかにしている.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-10-11
著者
-
澤谷 邦男
東北大学大学院工学研究科
-
佐藤 弘康
東北大学大学院工学研究科
-
上田 仁
石川島播磨重工業株式会社
-
玉城 克彰
東北大学大学院工学研究科
-
高木 朋子
石川島播磨重工業株式会社
-
渡部 嘉
石川島播磨重工業株式会社
-
高木 朋子
アネルバ株式会社
-
上田 仁
アネルバ株式会社
-
渡部 嘉
アネルバ株式会社
-
澤谷 邦男
東北大学大学院 工学研究 科電気通信工学専攻
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