石英系10m長尺導波路の作製と評価
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概要
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光通信システムの高度化・多機能化にともない、石英系プレーナ光波回路(PLC)の一層の低損失化・大規模化が必要となっている。このためには基板全体にわたり低損失導波路を作製する技術が基本となる。これまでに我々は、コアとクラッドの比屈折率差(Δ)が0.75%の1.6m長尺導波路で伝搬損失3.5dB/mを実現し、Δ0.45%の1.1m長尺導波路で1.7dB/mの低損失導波路を実現している。今回、基板全体にわたる導波路の均一性を調べるため、Δ0.45%の導波路で10m長尺導波路を作製し、その損失特性を評価したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
-
大森 保治
NTT光エレクトロニクス研究所
-
岡崎 久晃
NTTフォトニクス研究所
-
大森 保治
NTTエレクトロニクス(株)
-
肥田 安弘
NTT光エレクトロニクス研究所
-
日比野 善典
NTT光エレクトロニクス研究所
-
大森 保治
Nttフォトニクス研究所
-
大森 保治
Ntt フォトニクス研
-
岡崎 久晃
NTT光エレクトロニクス研究所
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