磁気光学/電気光学プローブによる微細回路上高周波電磁界の可視化(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術, テスト技術)
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概要
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高密度化、大規模化が進むLSIチップ/パッケージの電気設計、とりわけ低ノイズ設計にフィードバック可能な電磁界プローブの実現を目的に、光ファイバ端磁気光学/電気光学プローブの開発を進めている。今回、その基本性能と微細回路への適用例を紹介する。特に、微細回路上GHz帯磁界の可視化、LSI搭載プリント基板内不要電磁放射源探査、LSIチップ上RF電磁界の可視化などの適用例に焦点を合わせる。
- 2005-09-01
著者
-
土屋 昌弘
情報通信研究機構
-
岩波 瑞樹
日本電気株式会社 生産技術研究所
-
増田 則夫
日本電気株式会社 生産技術研究所
-
星野 茂樹
(株)日本電気特許技術情報センター
-
増田 則夫
日本電気株式会社
-
星野 茂樹
技術研究組合超先端電子技術開発機構(aset)
-
岩波 瑞樹
Necシステム実装研究所
-
岩波 瑞樹
日本電気株式会社
-
星野 茂樹
日本電気株式会社
-
岸 眞人
東京大学電子工学専攻
-
岸 眞人
東京大学大学院工学系研究科
-
岸 真人
東京大学電子工学科
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