反射型電子線トモグラフィによる磁界再構成
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概要
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高密度化の進む磁気記録において,磁気ヘッドのギャップ近傍における磁界の3次元分布形状を精度良く実測できる有効な方法の開発が重要な問題となっている.我々は,磁界分布の3次元計法として電子線トモグラフィによる3次元磁界再構成法について研究を進めてきた.本報告では,試料表面に対して垂直に電子線を入射し,試料表面で反射した後の偏向量から,試料直前の磁界分布計測を可能にする,反射型電子線トモグラフィによる磁界再構成法を提案する.理論的に磁界分布が既知であるワンターンコイルをモデルとしたコンピュータ・シミュレーションにより,本計測手法を用いて誤差20%程度でコイル直前の磁界分布計測が可能であることを示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-03-16
著者
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