レーザースパッタ法による低温c軸配向相NdBa_2Cu_3O_x薄膜の作製
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概要
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酸化物高温超伝導体NdBa_2Cu_3O_x(NBCO)薄膜は、これまで最も広く研究が行われているYBa_2Cu_3O_x(YBCO)薄膜よりも高い臨界温度および優れた表面安定性を示す。しかし、c軸配向NBCO薄膜は、c軸配向YBCO薄膜よりも80-100℃高い成長温度で作製されてきた。このことが成長の再現性およびデバイスへの応用を難しくさせている。我々はレーザースパッタ法による成膜時の酸素圧力をこれまでよりも高くすることにより、YBCOと同程度の成長温度でも優れた特性を持つc軸配向単相NBCO薄膜を作製することに成功した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-04-26
著者
-
森下 忠隆
(財)国際超電導産業技術研究センター(istec)超電導工学研究所
-
森下 忠隆
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
鈴木 健夫
東京電機大学工学部
-
鈴木 健夫
東京電機大 工
-
鈴木 健夫
東電大
-
座間 秀昭
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
石川 一洋
東京電機大学工学部
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