30p-BPS-13 RHEED-TRAXS法を用いたSi基板上各種金属薄膜の分析
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1991-09-12
著者
-
田中 昭二
超電導工研
-
田中 昭二
超電導工学研究所
-
森下 忠隆
超電導工学研究所
-
森下 忠隆
(財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所
-
青木 裕治
超電導工学研究所
-
森下 忠隆
超電導工学研
-
亀井 雅之
東京大学生産技術研究所第4部
-
亀井 雅之
超電導工学研究所
-
臼井 俊雄
超電導工学研究所
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