配線としてのYBa_2Cu_3O_<7-δ>/SrTiO_3/YBa_2Cu_3O_<7-δ>構造の上部・下部電極の評価
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概要
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YBa_2Cu_3O_<7-δ>/SrTiO_3/YBa_2Cu_3O_<7-δ>(YBCO/STO/YBCO)積層構造を作製し、上部及び下部電極となるYBCO膜、及びSTO膜の評価を行った。薄膜作製はPLD法により行った。また、信頼性あるSTO絶縁膜を得るためYBCO/STO作製後CMPにて表面を研磨し、再びSTO/YBCOを作製するという手順をとった。下部YBCO膜はTc=91.2K、77KにおけるJcは3.6×10^6A/cm^2であり、上部YBCO膜はTc=87.5K、77KにおいてJcは3.2×10^6A/cm^2であった。上部、下部電極内の絶縁抵抗は77Kで10MΩ以上あった。この結果から優れた超伝導特性を持つ多層デバイス用の基本構造が作製されたといえる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-02-21
著者
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