スピンバルブ型強磁性トンネル接合
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概要
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メタルマスクを用い, マグネトロンスパッタ法により, 片側の強磁性層を反強磁性層によって磁気的に固定したスピンバルブ型強磁性トンネル接合を作製した。A1層を酸化し, Al_2O_2絶縁層の形成には, 大気中で自然酸化する方法およびプラズマ酸化法の両手法を検討した。両手法において, スピンバルブ的特性が得られ, 300℃の熱処理を施すことによって, 24%の大きな抵抗変化率を得ることができた。特に, プラズマ酸化法では, 自然酸化法に比較して酸化速度が速く, 酸化障壁の形成時間を大幅に短縮することが可能である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-10-15
著者
-
佐藤 雅重
(株)富士通研究所 ストレージシステム研究所
-
小林 和雄
(株)富士通研究所 ストレージシステム研究所
-
菊地 英幸
(株)富士通研究所 ストレージシステム研究所
-
菊池 英幸
(株)富士通研究所
-
菊地 英幸
山形富士通
-
小林 和雄
富士通研
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小林 和雄
(株)富士通研究所
-
菊池 英幸
山形富士通
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